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  • PLUTO-F(14.5L)實驗室方腔等離子清洗機

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PLUTO-F(14.5L)實驗室方腔等離子清洗機

簡要描述：PLUTO-F(14.5L)實驗室方腔等離子清洗機/等離子體表面處理系統(tǒng)是一款功能強大的桌面型表面等離子體設(shè)備，非常適合于高校、科學研究所和企業(yè)實驗室，或者小批量生產(chǎn)，需要低成本運作且高效處理的企業(yè)。它具備等離子設(shè)備幾乎所有的功能，具有較大的腔體尺寸和靈活的電極配置方式。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-10-17
  • 訪  問  量：1601

詳細介紹

品牌PLUTOVAC產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,制藥,綜合
　　PLUTO-F(14.5L)實驗室方腔等離子清洗機特點：
 
　　1. 桌面型，性能穩(wěn)定、操作簡便、使用成本極低、易于維護，高性價比。
 
　　2.小身材，有效處理面積大，可以輕松處理8寸硅片去膠等應(yīng)用，最大可以處理203mm*203mm樣品。
 
　　3.采用氣浴電極，清洗效率高。
 
　　4.靈活的電極配置方案，最多可以處理2片8寸硅片
 
　　5.對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和表面改性。
 


          PLUTO-F(14.5L)實驗室方腔等離子清洗機參數(shù)：
 
　　1.  真空腔規(guī)格: 材質(zhì)6061-T6鋁合金 240mm*300mm*200mm
 
　　2.  電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金
 
　　3.  電極尺寸：205mm *205mm
 
　　4.  頻率：13.56MHz (可選配40KHz射頻等離子源)
 
　　5.  功率：0-500W連續(xù)可調(diào)，精度1W,可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)
 
　　6.  氣體控制：針式氣體流量閥， 60-600ml   2路氣體
 
　　7.  真空計：電偶式真空計，精度：0.01mTor
 
　　8.  控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
 
　　控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)
 
 

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