等離子去膠機(jī)(Plasma etcher)是一種用于去除材料表面膠層的設(shè)備。它利用等離子體技術(shù)，通過(guò)將氣體電離和激發(fā)，產(chǎn)生高能離子和自由基，以去除材料表面的膠層。通過(guò)等離子體與材料表面的化學(xué)反應(yīng)來(lái)去除膠層。在等離子體的作用下，膠層中的聚合物鏈斷裂，使膠層松散，并與氣體中的自由基反應(yīng)，從而將膠層分解為易揮發(fā)的小分子，通過(guò)真空系統(tǒng)排出，用于去除膠層、清洗表面以及改善材料粘附性能。它具有可控性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，是一種重要的表面處理設(shè)備。
 

　　等離子去膠機(jī)通常由以下幾個(gè)主要組件組成：
 

　　1.真空室：用于創(chuàng)建真空環(huán)境，以便在無(wú)氧或低氧條件下進(jìn)行去膠過(guò)程。
 

　　2.氣體供應(yīng)系統(tǒng)：提供用于產(chǎn)生等離子體的氣體，常見的氣體包括氧氣、氮?dú)?、氫氣等?br /> 

　　3.RF功率源：用于向氣體供應(yīng)系統(tǒng)提供高頻電場(chǎng)，使氣體電離和激發(fā)，形成等離子體。
 

　　4.等離子體反應(yīng)室：位于真空室中，包含與氣體接觸的材料表面。當(dāng)?shù)入x子體與材料表面接觸時(shí)，會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而去除膠層。
 

　　等離子去膠機(jī)常見的作用：
 

　　1.主要用于去除材料表面的膠層。這些膠層可能是由粘合劑、膠水、膠帶等形成的，通過(guò)等離子去膠機(jī)可以將其分解、氧化或去除，使材料表面恢復(fù)到無(wú)膠層的狀態(tài)。
 

　　2.可以用于清洗材料表面。等離子體的高能離子和自由基可以有效地清除表面的有機(jī)和無(wú)機(jī)污染物，包括油脂、灰塵、氧化物等，從而提高材料表面的潔凈度。
 

　　3.通過(guò)該設(shè)備處理材料表面，可以改善其粘附性能。去除膠層和污染物可以提供更好的表面粗糙度和清潔度，使材料表面更易于與其他材料粘合或涂覆。
 

　　4.還可以用于對(duì)材料表面進(jìn)行活性調(diào)整。等離子體可以在材料表面引入功能基團(tuán)或改變表面化學(xué)性質(zhì)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的改性，如增加疏水性、增強(qiáng)潤(rùn)濕性等。
 

　　5.在半導(dǎo)體制造過(guò)程中起著重要作用。它可以用于去除光刻膠、薄膜膠層等，以形成精確的圖案和結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)集成電路的制造和微納加工。